產(chǎn)品介紹
PRODUCTS
產(chǎn)品描述
參數(shù)
抽氣單元:采用干泵及分子泵組合抽氣式，干泵抽速>10L/s，分
子泵抽速>600 L/s;
極限真空:系統(tǒng)極限真空度≤6.7x10-5Pa，從一個大氣壓(充入干燥氮氣，不打開真空室)抽至6.7x10-4Pa 的時間≤2 h;
系統(tǒng)漏率:≤5x10-7Pa·L/s。
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未找到相應(yīng)參數(shù)組，請于后臺屬性模板中添加
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PECVDⅠ系統(tǒng)
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