產(chǎn)品介紹
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產(chǎn)品描述
參數(shù)
微小靶腔常溫檢漏裝置主要用于整體靶常溫條件下的檢漏,以及其它小密封體(如有密封要求的腔,球管等)的檢漏。包括樣品室、真空抽氣組件、氣路系統(tǒng)、檢漏儀和控制單元5個(gè)部分,可精密檢測(cè)整體靶、腔或球管組件常溫下對(duì)He的漏率,每次可同時(shí)檢測(cè)5發(fā)靶或靶零件。
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